真空法蘭多次拆卸和裝配保持氣密性能力強(qiáng)
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真空系統(tǒng)中的真空法蘭,簡(jiǎn)單的按材料來(lái)分包括橡膠密封法蘭與金屬密封法蘭。前者由于出氣量等因素,用于低真空、中真空以及高真空系統(tǒng)中;后者出氣量小、耐高溫烘烤,一般用于超高真空系統(tǒng)中。
真空法蘭多次拆卸和裝配保持氣密性能力強(qiáng)。這一點(diǎn)上,金屬密封法蘭的密封圈大部分只能用一次,但金屬?gòu)椥悦芊馊Φ某霈F(xiàn)特別適用于金屬超高真空閥的密封。
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